设备名称 |
管理项目 |
管理内容 |
使用仪器 |
检测要求 |
1.过滤器 |
1.洁净度 2.风管 3.气流速度 4.室内外静压差 |
洁净室定点监控 扫描测试及密封垫检漏 |
粒子计数器 风速仪 压差计 |
根据洁净室等级,按规定进行 |
2.预过滤器、中间过滤器 |
1.污染 2.处理风量 3.静压差 |
洁净室定点监控 目视检查 标准测定法 |
风速计 压差计 |
定时、连续 |
3.洁净工作台、洁净小室 |
1.洁净度 2.风量 3.气流速度 4.振动 5.发热量 6.照度 |
高效过滤器全面扫描测试检漏,每台检测5点 |
目视 触摸 粒子计数器 风速计 压差计 照度计 |
按生产工艺要求确定 |
4.风机、泵电动机 |
1.电压、电流 2.皮带松弛程度 3.电机转数 4.噪声、发热 5.风机叶轮平衡度 |
定点监控 目视 |
目视 电压表 电流表 转速表 动平衡仪 |
每日定时 动平衡3—6月 |
5.控制仪表、控制阀等 |
1.感应动作 2.记录仪动作 3.笔尖 4.记录纸
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给定值变动试验 用标准值校正 用手动试验 传感器清扫特别是温度传感器校正 轴部分要进行精检 |
目测 标准吊挂式温、湿度度计 电流计等有关标准仪器 |
动作每日定时,校正等按规定进行 |
洁净室的净化空气监测频数
洁净度等级 监测项目 |
100级 |
1,000级 |
10,000级 |
100,000级 |
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温度 |
每班二次 |
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湿度 |
每班二次 |
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压差值 |
每周一次 |
每月一次 |
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洁净度 |
每周一次 |
每三个月一次 |
每六个月一次 |